天津厂P2/P3扩产项目

中芯国际集成电路制造（天津）有限公司

天津市西青经济开发区兴华道19号

天津天发源环境保护事务代理中心有限公司

中芯国际集成电路制造有限公司于2003年在天津设立中芯国际集成电路制造（天津）有限公司（以下简称“中芯国际”），先后投资建设了“中芯国际集成电路制造（天津）有限公司月产30000片8英寸硅片项目”、“中芯国际集成电路（天津）Fab7 扩建项目工程”的建设、“VOCs有机废气治理项目”，上述工程以下简称“一期工程”，一期工程现具备月产8英寸硅片55000片的生产能力。中芯国际于2016年投资100亿元人民币，在现有厂区闲置空地内新建了“中芯国际集成电路制造（天津）有限公司T2/T3集成电路生产线项目”（以下简称“二期工程”），项目新增月产8英寸和12英寸集成电路芯片合计100000片。该项目于2016年10月18日取得天津市环境保护局的批复（津环保许可表[2016]52号）。该项目目前已完成T2、T3生产厂房、研发厂房、危化品库、化学品中转库、动力厂房、变电站及废水处理站等辅助设施的建设，T2厂房及内部集成电路生产线、配套设施已完成建设，具备月产8英寸集成电路芯片75000片能力，T3厂房内部仅安装了1套纯水制备系统及通风系统，原计划内部建设的8英寸及12英寸生产线不再建设。上述建设内容已于2021年11月通过了环保验收。近年来市场对8英寸集成电路芯片产品先进性要求不断增加，为满足市场需求，本次拟投资1049090万元（15.54亿美元），建设“天津厂P2/P3扩产项目”，该项目主要对T2厂房内8英寸产品品质进行优化，同时在空置T3厂房内按照1:1形式，新建同等规模的生产线，具体建设内容包括：（1）T2厂房内生产线改造优化内容：8英寸集成电路芯片产品主要工艺包括硅片清洗、氧化、涂胶及烘干、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜、化学研磨等环节，上述环节按设计要求经多次循环后形成光刻层，光刻层越多芯片特性越高产品越先进，本次拟在充分利用现有T2厂房内集成电路生产线生产设备，保持整体工艺不发生变化基础上，通过调整优化工艺时间增加循环次数（增加酸、碱清洗后的水洗次数，优化单次各类清洗工时，以实现增加整体工艺循环次数），实现光刻层数量增加，最终实现T2厂房内现有75000片8英寸集成电路芯片特性提高，生产规模不变；同时车间内增加部分天车设备替代人工搬运，提高元件周转效率。（2）T3厂房内扩建内容：利用T3厂房内空置区域，按照T2厂房内集成电路生产线情况，按1:1新增常压垂直炉管、成分分析仪、单晶硅外延炉、多晶硅刻蚀机、二氧化硅平坦化炉管、高能量离子注入机、金属铝刻蚀机、化学机械研磨、化学气相沉积、晶片清洗机等生产设备，建成同规模的8英寸集成电路生产线，实现月增产8英寸集成电路芯片75000片（与T2生产线工艺、产品类别、规模及先进性完全一致）。项目实施后T2、T3月产8英寸集成电路芯片合计150000片，全厂月产8英寸集成电路芯片205000片。本项目改造及建设内容均不涉及一期工程生产线，鉴于建设内容对于T2厂房内现有生产线进行了调整，本报告以项目实施后T2、T3厂房内全部污染物产生、排放及影响情况作为为评价内容。

本项目施工期不涉及土建施工过程，拟利用现有厂房内空置区域安装相关设备，施工过程中仅有施工人员废水、噪声和少量固体废弃物产生。施工废水本项目施工期废水仅为生活污水，施工期约为10个月，施工人员约为15人，用水量按照每人每天40L估算，则施工期生活废水产生量约为180t，依托厂内现有化粪池沉淀后由市政污水管网排入大寺污水处理厂。2、施工噪声施工场地噪声主要是设备安装、物料装卸噪声。施工场地噪声源通常主要为设备安装或物料装卸时使用的高噪声施工机械，单体噪声源强通常在80dB(A)以上。施工期存在大量设备交互作业，且在场地的位置及使用率均可能出现较大变化。本项目施工阶段一般均为室内作业，经过墙体隔声等防治措施，噪声传播一般可控制在50m范围内，受影响范围较小。3、施工固体废物施工期间产生的固体废物包括设备的废弃包装材料和施工人员生活垃圾。废弃包装材料经收集后及时清运，可外售给物资回收部门；生活垃圾主要为施工人员废弃物品，产生量较少，交由城市管理委员会统一清运。综上所述，施工期产生污染物较少，预计不会对周边环境产生明显影响。待施工结束后大多可恢复至现状水平。运营期

1. 大气

本项目实施后，T2厂房与T3车间生产规模、生产工艺基本完全一致，产生的废气收集后汇入对应总管后再均分至对应排气筒排放，因此满负荷运行时，同类排气筒最大污染物排放量相同。

当出现运转异常时厂内立即停产检修，待所有生产设备、环保设施恢复正常后再投入生产，同时应及时启动备用治理设备，以减少废气排放量，降低对环境造成的影响，根据上表可知，即使产生废气污染物非正常排放，鉴于排放量较小，排放时间段，不会对周围人群产生显著影响。

1. 废水

1. 本项目废水排放量为15719m3/d，占大寺污水处理厂处理能力比例较大，根据大寺污水处理厂去年排污数据，目前日处理量为3万8 m3/d ~4万m3/d，尚有少量余量可满足本项目废水排放。本项目废水水质可达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）标准，满足大寺污水处理厂进水水质要求，可直接排往该污水处理厂进一步处理。因此，本项目污水排放去向合理可行。本项目污水水质符合污水处理厂的收水要求。排放的废水水质不会对污水处理厂的运行产生明显影响，执行的排放标准可涵盖本项目排放的特征水污染物。该污水处理厂具备接纳本项目废水的能力。本项目污水排放去向合理可行。噪声

本项目所在区域周边50m范围内有1处声环境敏感目标，为大寺村，与本项目最近距离为28m，本项目建成后，大寺村处声环境可满足GB3096－2008《声环境质量标准》2类标准限值要求。

4、固体废物

（1）一般固体废物环境管理一般固体废物的具体管理措施如下：一般工业固体废物参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 18599-2020）中的有关规定，各类废物可分类收集、定点堆放在厂区内的一般固废暂存场，同时定期外运处理，作为物资回收再利用。污水处理站污泥由城管委定期清运。（2）危险废物收集的环境管理要求本项目危险废物的收集主要指在危险废物产生节点将危险废物集中到适当的包装容器中或运输车辆上的活动。本项目液态危险废物收集时如果操作不当，有可能撒漏到厂区地面而造成对土壤、地下水的不利影响。依据《危险废物收集、贮存、运输技术规范》（HJ 2025-2012），本项目已采取以下措施：① 危险废物的收集根据危险废物产生的工艺特征、排放周期、危险废物特性、废物管理计划等因素制定收集计划。 ② 危险废物的收集制定详细的操作规程，内容至少应包括适用范围、操作程序和方法、专用设备和工具、转移和交接、安全保障和应急防护等。 ③ 危险废物收集和转运作业人员根据工作需要配备必要的个人防护装备，如手套、防护镜、防护服、防毒面具或口罩等。 ④ 危险废物收集时根据危险废物的种类、数量、危险特性、物理形态、运输要求等因素确定包装形式。 ⑤ 根据收集设备、转运车辆以及现场人员等实际情况确定相应作业区域，同时设置作业界限标志和警示牌。（3）危险废物贮存的环境管理要求本项目利用现有工程危废暂存间，面积约450m2。在提高危废转运、处置频次的前提下，现有危险废物暂存间能够满足本项目危险废物暂存需求。现有危废暂存间建设已满足相关标准要求，在满足管理要求的前提下，预计不会对周边环境空气、地下水、土壤等造成不利影响。

5、地下水及土壤环境影响本项目运行过程中没有土壤、地下水污染途径，因此本项目运营后预计不会对土壤、地下水环境造成污染。

无

2022年09月05日—2022年09月09日